일반기술

듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치

본 기술은 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치에 관한 것으로, 그 목적은 단순한 구성으로서 강성측면에서도 안정된 구조를 갖으며, 스테이지의 전체 영역에 대해서 높은 분해능의 구현이 가능한 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 기술은 구동축의 회전에 의해 선형이동 또는 회전이동을 하는 스테이지를 구비하는 나노 스테이지장치에 있어서, 상기 구동축 상에 피에조 엑츄에이터가 설치되어 구동축의 회전 및 피에조 엑츄에이터의 신장에 의해 스테이지가 이동하는 듀얼 작동구조를 구비하는 나노 스테이지장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.*기술성- 본 기술은 높은 분해능을 구현함에 있어 구조 또는 강성측면에서 어려움이 따르는 종래기술을 개선시킨 기술로현저한 차별성이 있음- 듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치를 개발하고자 하는 일부 기술을 보유 및 적용한 사례가 있어 국내 개발업체들과 비교하여 기술적 우위를 점하고 있는 것으로 판단됨*시장성- 스테이지 장치는 시장이 형성되어 있는 실정이고, 적용 분야가 다양하여 활용잠재성이 높고 꾸준히 성장할 것이라고 예측되고 있음- 향후 충분한 수요처의 확보는 가능할 것으로 보여 사업화 및 제품화 가능성이 높을 것으로 판단됨