일반기술

단일 입자 질량 분석기

본기술은 단일 입자 질량 분석기를 개시한다. 본 기술은, 진공펌프에 의해 내부가 진공 상태로 유지되는 챔버와, 챔버와 연통되도록 설치되는 원통형의 비행 튜브와, 챔버에 설치되어 외부로부터 투입되는 에어로졸 입자를 포커싱하는 공기역학렌즈와, 공기역학렌즈에 의해 포커싱된 입자에 레이저 빔을 조사하여 이온을 방출시키는 레이저 발생수단과, 방출된 이온들을 비행 튜브를 따라 비행하도록 가속시키는 추출가속수단과, 비행 튜브를 따라 가속되는 이온들을 검출하도록 비행 튜브의 끝단에 설치된 이온검출기를 포함하는 단일 입자 질량 분석기에 있어서, 추출가속수단은, 반구형상을 가지는 전도성 소재로 이루어지며, 상대적으로 고전압이 인가되는 리플렉터; 및 상기 리플렉터로부터 이온검출기 방향으로 소정 간격 이격되어 배열되며, 리플렉터에 비해 상대적으로 낮은 전압이 인가되는 적어도 하나 이상의 메쉬 형상의 그리드를 포함하고, 리플렉터와 그리드 사이의 전압차에 의해 이온이 바이어스되어 비행 튜브를 따라 이온검출기를 향해 비행하는 구성을 가진다. 본 기술은 단일 입자 질량 분석기를 개시한다. 본 기술은, 진공펌프에 의해 내부가 진공 상태로 유지되는 챔버와, 챔버와 연통되도록 설치되는 원통형의 비행 튜브와, 챔버에 설치되어 외부로부터 투입되는 에어로졸 입자를 포커싱하는 공기역학렌즈와, 공기역학렌즈에 의해 포커싱된 입자에 레이저 빔을 조사하여 이온을 방출시키는 레이저 발생수단과, 방출된 이온들을 비행 튜브를 따라 비행하도록 가속시키는 추출가속수단과, 비행 튜브를 따라 가속되는 이온들을 검출하도록 비행 튜브의 끝단에 설치된 이온검출기를 포함하는 단일 입자 질량 분석기에 있어서, 추출가속수단은, 반구형상을 가지는 전도성 소재로 이루어지며, 상대적으로 고전압이 인가되는 리플렉터 및 리플렉터로부터 이온검출기 방향으로 소정 간격 이격되어 배열되며, 리플렉터에 비해 상대적으로 낮은 전압이 인가되는 적어도 하나 이상의 메쉬 형상의 그리드를 포함하고, 리플렉터와 그리드 사이의 전압차에 의해 이온이 바이어스되어 비행 튜브를 따라 이온검출기를 향해 비행하는 구성을 가진다.