일반기술

타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계 경질 코팅막

본 기술은 타이타늄과 몰리브덴과 실리콘이 소정의 원자수비로 결합되면서 대상물에 경질 코팅막을 형성시켜, 대상물의 기계적, 물리적 성질을 향상시키는 타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계(Ti-Mo-Si-N계) 경질 코팅막에 관한 것이다, 본 기술은 진공챔버 내부에서, 코팅처리를 하고자 하는 대상물에 바이어스 전압이 인가되고, 질소가스가 유입되며, 타이타늄타켓이 장착된 아크 건과 몰리브덴 및 실리콘타겟이 장착된 스퍼터 건에 각각 전원이 인가되어 대상물에 경질 코팅막을 형성시키되,스퍼터 건에 인가된 전원의 크기에 따라 몰리브덴과 실리콘의 원자수비가 조절되어, 타이타늄과, 몰리브덴, 실리콘 사이의 상대적 원자수비가 타이타늄은 86~74원자수비, 몰리브덴은 12~8원자수비, 실리콘은 2~18원자수비로 형성되며, 그리고 타이타늄, 몰리브덴, 실리콘의 총원자수비에 대해 질소의 원자수비가 1:1로 형성된 것을 특징으로 하는 타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계 경질 코팅막을 기술적 요지로 한다. 이에 따라 복잡한 형상을 갖는 다양한 금형, 고속절삭공구, 베어링, 바이트, 드릴, 엔드밀 등의 대상물에 균일한 표면 도포성을 갖는 타이타늄-몰리브덴-실리콘-질소계 경질 코팅막을 형성함으로써 공구의 수명을 연장함과 동시에, 다방면으로의 고부가가치 기술산업에 적용할 수 있는 효과를 기대할 수 있으며, 또한 실리콘으로 인해 경도가 더욱 더 향상되었음을 알 수 있으며, 산화몰리브덴과 대기 중의 물의 결합으로 생성된 자기윤활막에 의해 마찰계수가 더욱 더 감소되는 이점이 있다.