일반기술

나노미터 스케일의 측정 및 가공을 위한 센서 장치

본 기술은 다양한 범위의 분해능을 구비하고 있는 정전 용량형 갭 센서와 다양한 탄성력을 구비하고 있는 탄성수단을 적절하게 취사 선택하여 요구되는 작업의 정도에 따라 능동적으로 대처할 수 있는 센서 장치에 관한 것이다.중심 축 방향으로 내부 수용 공간이 구비되는 하우징과, 하우징의 내부 수용 공간 상단부에 고정 결합되는 정전 용량형 갭 센서와, 일단에는 소재 표면의 상태를 측정할 수 있는 프로브 장치 또는 소재 표면을 가공할 수 있는 가공 팁 장치 중에서 선택되는 어느 하나가 착탈식으로 결합될 수 있도록 결합홈부가 구비되며 상기 정전 용량형 갭 센서와 일정 간격 이격된 상태로 상기 하우징의 내부 수용 공간 하단부에 위치하여 상기 하우징 내부 수용 공간을 슬라이드 운동하는 가이드부와, 상기 정전 용량 갭 센서와 상기 가이드부 사이에 개재되는 탄성수단을 포함하여 이루어지는 센서 장치를 제공함을 그 기술적 특징으로 한다.