일반기술

기판 트리거 방식의 ＥＳＤ 보호소자로 구현하기 위한ＥＳＤ 보호회로 및 그 제조 방법

본 발명은 기판 트리거 방식의 ESD(Electro Static Discharge) 보호소자로 구현하기 위한 ESD 보호회로 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 ESD 보호회로는, 기판 트리거 방식의 ESD 소자를 이용하여 ESD 보호회로를 구현한 것으로서, 일반적인 ESD 보호소자가 가지고 있는 애노드와 캐소드 전극 사이에 트리거 전용 전극을 설치함으로써, 보다 빠른 응답을 가능하게 한다. 또한 ESD 보호회로를 구현함에 있어서 ESD 보호소자의 빠른 응답으로 인한 2차 트리거 전용 소자를 쓸 필요가 없음에 따라, 집적도의 향상을 얻을 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명은 기판 트리거 방식의 보호소자와 애노드와 트리거 전극간의 고립저항으로 구성함으로써, ESD에 대한 응답 속도를 현저히 높일 수 있다. 게다가 기판으로 열의 확산이용이하여, 열에 대한 높은 안정성을 가지므로 ESD에 대한 높은 내구성의 확보가 가능하다.