일반기술

비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터및 돌출부 제조방법

비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 이용하여 구동력 및 변위가 증가된 마이크로액츄에이터가 개시된다.본 발명에 의한 비대칭 돌출부가 형성된 핑거를 구비한 마이크로액츄에이터는 소정의 평편도를 가지는 플레이트, 빗살형상을 이루도록 나란하게 배열되며 양 측면에 비대칭 돌출부가 형성된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 플레이트의 상부면에 고정설치되는 고정자, 빗살형상을 이루도록 나란하게 배열된 다수개의 핑거를 일측에 구비하여, 상기 핑거가 고정자 핑거들사이를 종방향으로 왕복운동하면서 교합 및 이탈될 수 있도록 상기 고정자에 대향하여 플레이트의 상부면에 배치되는 이동자, 상기 이동자의 왕복운동시 복원력을 제공하도록 이동자의 일측면에서 횡방향으로 연장된 탄성부재, 상기 탄성부재의 양단부와 연결되어 탄성부재를 지지하는 지지부재 및 상기 고정자 및 이동자에 전압을 인가하는 전원을포함하는 것을 특징으로 한다.