일반기술

소형 가공장치용 인치웜 액츄에이터

본 발명은 소형 가공장치용 인치웜 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압전 세라믹의 기계적인 변형을 이용하여 수십 마이크로 미터의 가공물을 미세 가공하는 마이크로 소형 가공장치 등에 이용될 수 있는 소형 가공장치용 인치웜 액츄에이터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 소형 가공장치용 인치웜 액츄에이터는, 측부에 안내홀이 형성되어 있는 지지대와, 하부에 툴이 구비되며 상기 안내홀에 삽입되어 상,하로 이동하게 되는 툴 가이드와, 상기 툴 가이드의 내측에 구비되어 외부의 전압이 가해져 기계적인 변형을 하게 되는 인치웜 액츄에이터로 구성된 소형 가공장치에 있어서, 상기 인치웜 액츄에이터는 삽입공이 형성되고 양측에 수평 관통홀이 구비되어 있는 상,하부 수평 하우징과, 상기 상,하부 수평 하우징 사이에 구비되며 삽입공이 형성된 수직 하우징과, 상기 상,하부 수평 하우징의 삽입공에 삽입되며 수용 공간부가 구비되어 있는 보조 하우징과, 상기 보조 하우징의 수용 공간부와 상기 수직 하우징의 삽입공에 삽입되는 압전 봉과, 상기 상,하부 수평 하우징의 수평 관통홀에 삽입되며 외부의 전압에 의해 보조 하우징이 인장되면서 보조 하우징의 단부와 점 접촉되는 볼이 구비되어 있는 클램프로 구성됨을 특징으로 한다.