일반기술

압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조방법

본 기술에 따른 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조 방법은 라미네이팅을 이용하여 탄성판을 제작하는 단계, 펀칭작업으로 탄성판의 일측에 홀을 가공시키는 단계, 라미네이팅을 이용하여 챔버의 측면 및 하측에 스페이서, 채널판 및 노즐판을 형성시키고, 펀칭 작업으로 상기 스페이서에 잉크가 공급될 관통구멍 및 챔버부, 상기 채널판에 챔버부 및 잉크통로를, 상기 노즐판에 테이퍼부 및 노즐을 형성시키는 단계, 탄성판, 스페이서, 채널판 및 노즐판을 얼라인 마크를 이용하여 정렬한 후, 스테킹을 실시하는 단계, 신터링을 실시하는 단계, 탄성판의 상부에 하부전극을 형성시키는 단계, 하부전극의 상부에 압전판을 형성시키는 단계, 압전판의 상부에 상부전극을 형성시키는 단계 및 상부전극의 상부에 보호층을 형성시키는 단계를 포함한다. 따라서, 본 기술에 따른 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조방법은 MEMS 공정으로 제작하기 어려운 형상(TOP이나 Bottom과 연결되지 않으며 중앙에 빈 공간 형성, 외팔보 등)을 종래보다 용이하게 구현시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 종래의 여러 개의 판을 적층시킴으로써 발생하는 제품의 크기 증가, 공정의 복잡함 및 비용증가를 방지할 수 있다.