일반기술
저전류 구동형 펄스 아크 발생장치
본 발명은 아크 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저전류에서의 아크 증착시 아크의 이동속도를 증가시켜 매크로 입자 발생을 억제하고, 이동속도 증가를 위한 장치 구조를 간소화시킨 저전류 구동형 펄스 아크발생부에 관한 것이다. 이를 위해, 전원부 및 상기 전원부와 연결된 아크발생부를 통해 진공실 내부의 아크 소스에 전류를 인가하여 아크를 발생시키는 장치에 있어서, 상기 아크 소스에서 발생되는 아크 및 펄스아크의 이동속도를 증가시킬 수 있도록 상기 아크 소스 내부에 자장발생수단을 내장 구비한 것을 특징으로 한다. 상기한 구성에 따라, 자장발생수단을 아크 소스 내부에 구비하여 아크 소스의 원주 방향으로 자장을 인가함으로써, 아크 이동속도를 증가시켜 매크로 입자가 발생하는 것을 방지하는 효과가 있고, 또한 상기 자장발생수단을 작동시키는 별도의 전원공급장치가 불필요하여 구조를 단순화시킬 수 있는 효과도 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기 응용 기술
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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