일반기술

집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법

본 기술은 집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법에 관한 것으로, 그 목적은 선반의 가공방식과 수직형 머시닝 센터의 가공방식을 복합하여 다양한 분야에 응용될 수 있도록 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 기술은 대상물이 놓여져 고정되는 공간을 제공함과 더불어 고정된 대상물을 미소변위로 이동시키는 스테이지와, 상기 대상물로 이온빔을 조사하는 이온빔 조사부가 구비된 집속이온빔 가공장치에 있어서, 상기 스테이지의 상부 양측에 설치되어 스테이지와는 별도로 대상물을 고정하고, 고정된 대상물이 상기 이온빔 조사부의 수직 하단부에서 수평한 회전축을 갖도록 대상물을 회전시키며, 상호 대칭구조를 갖는 한쌍의 회전용 고정부들을 구비하는 집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.*기술성- 본 기술은 선반의 가공방식과 수직형 머시닝 센터의 가공방식을 복합하여 다양한 분야에 응용될 수 있도록 하는집속이온빔의 복합형 가공장치로 기술적 가치가 있음- 또한, 정확하고 신뢰성 있게 가공할 수 있어 집속이온빔의 복합형 가공장치 개발은 기술적 가치가 매우 높음*시장성- 선반의 가공방식과 수직형 머시닝 센터의 가공방식을 복합하여 다양한 분야에 응용할 수 있으므로 시장 진입가능성이 매우 높음- 집속이온빔에 의한 형상 가공방법 시장이 형성되어 있는 실정이고, 적용 분야가 다양하여 꾸준히 성장할 것이라고 예측되고 있음- 향후 충분한 수요처의 확보는 가능할 것으로 보여 사업화 및 제품화 가능성이 높을 것으로 판단됨