일반기술

코팅용 타겟 제조방법 및 그 제품

본 발명은 타겟 제조공정 및 그 제품에 관한 것으로, 보다 상세하게는 결정립이 미세하고 균일하며 물성이 우수한 다성분계의 고속용 가공공구용 타겟을 제조할 수 있도록 한 코팅용 타겟 제조방법 및 그 제품에 관한 것이다. 이를 위해, 원료 분말과 소정 크기의 볼을 일정 비율의 장입비로 혼합한 후 기계적 합금화 공정을 수행하여 원료 분말 내부에 다양한 합금 원소를 일정하게 분포시키는 동시에 분말 내부의 결정립을 나노 크기로 미세 입자화하고, 미세 입자화한 원료 분말을 투입한 후, 소결공정을 수행하여 원료 분말 내부에 다양한 합금 원소를 일정하게 분포시키는 동시에 분말 내부의 결정립을 나노 크기로 미세 입자화한 상태의 소결체를 형성하며, 초음파를 이용하여 소결체 상면을 가공한 후 소결체 하면에 백플레이트를 접착하여 타겟을 제조하는 것을 특징으로 한다. 상기한 구성에 따라, 기계적 합금화 공정과 소결공정을 통해 원료 분말 내부에 다양한 합금 원소를 균일하게 분포할 수 있게 됨으로써, 물성이 우수한 합금 소결체를 제조하여 고속용 가공공구의 코팅 재료로 사용할 수 있는 효과가 있다.