일반기술

진공용 대변위 나노 스테이지

본 기술은 진공용 대변위 나노 스테이지에 관한 것으로, 그 목적은 전체적으로 컴팩트한 외형을 유지하면서 스테이지의 전체 영역에 대해서 정밀한 미소변위의 위치결정이 가능한 진공용 대변위 나노 스테이지를 제공함에 있다. 이를 위한 본 기술은 대상물이 고정되는 플랫폼; 상기 플랫폼을 X축 방향으로 이동시키되, X축 구동모터와 X축 볼스크류에 의한 플랫폼의 대변위 이동과 X축 피에조 엑츄에이터에 의한 플랫폼의 미소변위 이동이 플랫폼의 일측에 구비된 X축 볼스크류의 축선을 따라 이루어지도록 구성된 X축 구동부, 플랫폼을 Y축 방향으로 이동시키되, Y축 구동모터와 Y축 볼스크류에 의한 플랫폼의 대변위 이동과 Y축 피에조 엑츄에이터에 의한 플랫폼의 미소변위 이동이 X축 구동부의 일측에 구비된 Y축 볼스크류의 축선을 따라 이루어지도록 구성된 Y축 구동부, X축 구동부 및 Y축 구동부에 의해 제공되어 플랫폼의 X축 및 Y축에 대한 변위량을 검출하는 위치검출부 및 위치검출부에 의해 검출된 변위량에 기초하여 X축 구동모터와 X축 피에조 엑츄에이터 및 Y축 구동모터와 Y축 피에조 엑츄에이터를 피드백 제어하는 모션컨트롤러를 구비하는 진공용 대변위 나노 스테이지에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.