일반기술

포스트 플라즈마를 이용한 스테인리스 스틸 질화방법

본 기술은 스테인리스 스틸 질화방법에 관한 것으로, 로 내부 및 시편의 온도 균일도 및 질화 이온 밀도를 높여 높은 질화특성 및 표면조도를 확보할 수 있도록 한 포스트 플라즈마를 이용한 스테인리스 스틸 질화방법에 관한 것이다. 이를 위한 질화방법은, 노 내부의 분위기를 Ar과 H2의 혼합 기체로 유지시키고, 온도를 300~500℃로 가열한 후, 스크린망에 4~8kW의 전력을 가해 포스트 플라즈마를 생성시키는 플라즈마 생성공정과 스테인리스 스틸 표면의 잔류가스 및 불순물을 제거하는 표면 활성화공정과 스테인리스 스틸에 질화 반응가스를 투입하여 450℃이하의 온도에서 질화시키는 질화층 형성공정과 노 내부의상기한 구성에 따라, 스크린망을 통과한 반응 가스의 활성화를 통해 높은 이온 밀도를 형성하여 온도 균일도를 높여 질화 성능을 향상시키고, 낮은 온도에서 질화처리하여 CrN의 석출을 방지할 수 있어, 표면경도와 내마모성을 가일층 향상시킬 수 있는 효과도 있다. 온도를 떨어뜨려 스테인리스 스틸을 냉각시키는 냉각공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.*기술성- 본 기술은 로 내부의 온도 균일도 및 질화 이온 밀도를 높여 낮은 바이어스 전압에서도 높은 질화 특성을 확보할 수 있는 스테인레스 질화방법으로 기술적 가치가 매우 높음- 스테인리스 스틸 질화방법 분야 기술을 일부 보유하고 있어 국내 개발업체들과 비교하여 기술적 우위를 점하고있는 것으로 판단됨*시장성- 스테인레스는 여러 분야에서 꾸준히 사용하고 있어 지속적으로 성장할 것으로 전망됨- 향후 충분한 수요처의 확보는 가능할 것으로 보여 사업화 및 제품화 가능성이 높을 것으로 판단됨