일반기술
비대칭 피라미드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판
본 기술은 도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서, 빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역으로 이루어진 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계; 상기 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향에서 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광을 실시하는 제2 단계, 경사 노광된 기판을 현상하여 비대칭 피라미드 형태를 가진 다수의 포토레지스트를 얻는 제3 단계, 비대칭 피라미드 형상을 가진 포토레지스트가 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제4 단계 및 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 비대칭 피라미드 형상의 포토레지스트가 양각된 도광판을 성형하는 제5 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.상술한 설명에 따르면 본 발명은 경사 노광 공정에 의해 만들어진 포토레지스터에 의한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈를 제작시킴으로써 간단한 제조 공정으로 미세한 비대칭 피라미드형 마이크로렌즈 어레이 패턴을 제조할 수 있으며, 그에 따라 비용을 줄이고 제조 시간을 단축시키는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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