일반기술
하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판
본 기술은 도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서, 빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역을 형성하되, 제2 영역 들이 서로 다른 크기 및 형상을 갖는 하이브리드 어레이를 형성하도록 된 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계, 하이브리드 어레이를 형성하는 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향의 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광과 수직 노광을 실시하는 제2 단계, 경사 노광된 기판을 현상하여 각각은 비대칭 경사기둥 형태를 갖고, 다양한 크기 및 형상으로 이루어지는 하이브리드 포토레지스트 기둥을 얻는 제3 단계, 하이브리드 포토레지스트 기둥들을 리플로우 공정을 통해 만곡시켜 하이브리드 마이크로렌즈 패턴을 얻는 제4 단계, 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제5 단계 및 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 양각된 도광판을 성형하는 제6 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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