일반기술

압전방식을 이용한 초소형 정밀 액적분사헤드 및 제조 방법

본 기술은 압전방식을 이용한 액적분사장치와 그 제조방법에 관한 것으로, 리저버와 리저버에 연결되는 압력챔버가 일측과 타측에 각각 관통형성된 상부기판과 압력챔버에 연결된 유체분사부와 상부기판의 리저버에 연결되어 유체가 이동되는 유체유로 및 유체유로와 압력챔버에 연결되며 유체유로로부터 압력챔버쪽으로 갈수록 단면적이 증가하는 유로디퓨저로 이루어진 하부기판 및 상부기판의 압력챔버 상면에 일체형성되어 굽힘변형에 의해 압력챔버 내의 유체에 토출압력을 제공하는 압전액츄에이터를 포함하여 구비되며 하부기판, 상부기판 및 압전액츄에이터가 순차적으로 적층되어 이루어짐으로써 희생층을 사용하지 않고 단지 2개의 실리콘 기판만을 사용하여 헤드구조를 구현함으로써 보다 단순한 액적분사헤드구조와 그 제작방법을 제공하며 액적분사헤드의 내부구조에 있어서 분사 대상 물질의 분사 성능을 향상시키기 위해서 디퓨저 구조를 유로와 유체분사부에 도입함으로써 헤드구조 내에서 원활한 흐름과 분사를 유도할 수 있는 유로구조 및 분사구조를 이루는 효과를 제공한다.