일반기술
초음파 증폭기를 이용한 세정장치
본 기술은 초음파 증폭기를 이용한 세정장치에 관한 것으로서, 특히 베이스의 상부 스테이지상에 연질로 이루어진 다수의 지지봉을 설치하여 소재를 올려놓을 수 있도록 하고, 상부스테이지의 직상방에 높이 및 좌우 이동이 가능하도록 세정수단을 설치하되, 세정수단은 초음파 진동자에서 발생된 초음파를 증폭하여 소재에 공급하여 소재 표면에 존재하는 불순물이 활성화되어 분리되도록 하는 증폭혼이 중앙에 형성되고, 그 일측에는 불순물을 불어주기 위한 가스분사노즐을 형성하며, 타측에는 불순물을 흡입 제거하기 위한 불순물 흡입노즐을 형성하므로서, 반도체 제조공정 또는 LCD 패널 제조공정중에 기판(웨이퍼 또는 glass) 표면에 붙어있는 불순물을 효율적으로 제거하여 세정 처리할 수 있도록 한 초음파 증폭기를 이용한 세정장치에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 산업·일반기계
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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