일반기술

나노 단위의 유전탄성체 박막이 구비된 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법

본 기술은 나노 단위의 유전탄성체 박막 및 전극이 순차적으로 적층된 적층형 폴리머 액추에이터의 제조 방법에 관한 것으로서, 나노 단위의 유전탄성체 분자가 용해되어 있는 유전탄성체 용액에 고전압을 인가하여 유전탄성체 분자를 하전시키는 제1 단계와 하전된 유전탄성체 분자를 스핀 코팅기의 컬렉터 스크린에 분사하는 제2 단계와 스핀 코팅기의 컬렉터 스크린에 부착된 유전탄성체 분자를 고속으로 회전시키서 나노 단위의 유전탄성체 박막을 형성하는 제3 단계와 형성된 유전탄성체 박막을 경화시키는 제4 단계와 경화된 유전탄성체 박막 상에 전극을 적층하는 제5 단계와 제1 내지 제5 단계를 반복하여, 유전탄성체 박막 및 전극을 순차적으로 적층하는 제6 단계를 포함한다. 본 기술에 따르면, 나노 단위의 유전탄성체 박막을 효과적으로 형성할 수 있으며, 이에 따라 폴리머 액추에이터의 구동 전압을 수십 볼트(V) 내외로 획기적으로 낮출 수 있다.