일반기술
초음파 스프레이를 이용한 전극 도포 시스템
본 기술의 전극 도포 시스템은 금속 페이스트 및 용매를 혼합 및 교반하여 금속 페이스트 희석액을 생성하기 위한 혼합 유닛, 혼합 유닛에 금속 페이스트를 공급하기 위한 금속 페이스트 공급부재, 금속 페이스트 공급부재와 이격되어 배치되고 혼합 유닛에 용매를 공급하기 위한 용매 공급부재, 혼합 유닛과 연결되어 있고, 금속 페이스트 희석액을 혼합 유닛으로부터 공급 받아 금속 페이스트 희석액을 무화(霧化)시키고 무화된 금속 페이스트 희석액을 대상 기판 상에 분사하기 위한 초음파 분무 유닛, 초음파 분무 유닛에 초음파를 제공하기 위한 초음파 발생 부재 및 상기 초음파 분무 유닛의 외부에 배치되고 초음파 분무 유닛에 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스 공급 부재를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 미소·극미소기전시스템장비
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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