일반기술

암모니아 가스센서 및 그의 제조방법과 암모니아 가스 감지방법(AMMONIA GAS SENSOR AND IT`S MANUFACTURING METHOD AND IT`S SENSING METHOD)

감도가 우수하고 선택성이 향상된 암모니아 가스센서 및 그의 제조방법과 암모니아 가스 감지방법으로, Al2O3 기판과, SnO2 및 WO3로 이루어진 제 1, 제 2 감지 물질을 준비하고, 기판의 상하부에 Pt를 형성하고 패터닝하여 기판 상부의 일정영역에 제 1, 제 2 전극을, 기판 하부의 일정영역에 히터를 각각 형성한 후, 전극과 히터가 형성된 기판을 열처리하고, 제 1, 제 2 전극상의 일부분을 포함한 기판 상부의 일정영역에 제 1, 제 2 감지 물질을 이용하여 제 1, 제 2 감지부를 형성한 다음, 건조 및 소결하고, 제 1 감지부 표면에 Fe산화물을 코팅하고 제 2 감지부에 Pt 촉매를 첨가한 후, 제 1, 제 2 전극 및 히터의 패드영역에 와이어 본딩 및 패키징하여 제조된 암모니아 가스센서는 히터에 전압을 인가하여 기판을 가열하고, 전극에 전압을 인가하여 가스들에 대한 제 1 감지부의 저항과 제 2 감지부의 저항비에 의해 출력값을 측정함으로써, 감지 특성 및 선택성이 우수한 가스센서를 얻을 수 있다.