일반기술
써모파일 센서 및 그 제조방법(THERMOPILE SENSOR AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME)
써모파일 센서 및 그 제조방법으로, 기존의 반도체 공정(CMOS 공정)과 호환이 가능하여 양산성을 향상시키고, 흑체 형성시 발생하던 다이아 프레임 막의 손상을 방지할 수 있으며, 흑체막 특성을 일정하게 제어할 수 있으며, 접착력이 뛰어난 흑체를 용이하게 형성할 수 있어 수율을 크게 향상시킬 수 있으므로 전체적으로 써모파일 센서의 제조 단가를 낮출 수 있다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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