일반기술
질화갈륨 단결정 기판의 제조방법(METHOD FOR MANUFACTURING GaN SUBSTRATE)
제조공정 시간이 짧으면서도 광소자 제조에 충분한 크기의 질화갈륨 단결정 기판의 제조방법으로 결정결함 밀도가 작을 뿐만 아니라 재현성이 뛰어난 질화갈륨 단결정 기판의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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