일반기술
엑스-레이(X-ray) 마스크의 흡수체 및 그 제조방법(Absorber of X-ray mask and its manufacturing method)
엑스-레이(X-ray) 마스크의 흡수체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 멤브레인위에 결정질상을 갖는 텅스텐나이트라이드(WNX)층을 증착하는 스텝과, 결정질상을 갖는 텅스텐나이트라이드(WNX)층위에 비정질상을 갖는 텅스텐나이트라이드(WNX)층을 증착하는 스텝과, 결정질상을 갖는 텅스텐나이트라이드(WNX)층과 비정질상을 갖는 텅스텐나이트라이드(WNX)층을 열처리하는 스텝으로 이루어짐으로써, 저응력, 안정성, 우수한 표면 조도, 높은 밀도를 갖는 흡수체를 제작할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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