일반기술

규칙적인미세패턴을갖는화상디바이스의패턴검사장치및검사방법(TESTING METHOD AND PATTERN TESTING APPARATUS OF IMAGE DEVICE WITH REQULAR MINUTENESS PATTERN)

규칙적 미세 패턴으로 이루어진 화상디바이스의 매크로검사와 마이크로검사을 연속하여 행하도록 한 화상디바이스의 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로, 검사대상물을 스캐닝방향으로 이동하여 화상을 취득하여 양부를 판단하는 화상디바이스의 검사장치에 있어서, 검사 대상물의 스캐닝방향과 수직방향으로 설치되어 검사 대상물의 전체를 저배율로 촬상하는 매크로카메라와, 매크로카메라와 동축상으로 설치되고, 매크로카메라에서 촬상된 결함후보점을 고배율로 촬상하는 마이크로카메라와, 매크로카메라부 및 마이크로카메라에서 입력되는 화상을 이미지프러세싱하는 이미지프러세싱유니트와, 이미지프러세싱유니트의 출력으로 매크로카메라에 의한 화상으로부터 대상물의 결함후보점의 위치를 인식, 제어하고, 마이크로카메라의 결함후보저의 화상으로부터 먼지/이물 및 실제불량을 분리 판단하는 컴퓨터와, 컴퓨터의 결함후보점의 위치신호를 받아 마이크로카메라를 Y축 및 Z축 방향으로 이동하여 대상물에 촛점을 맞추기 위한 오토포커싱유니트를 구비한 것이다.