일반기술
강유전체 커패시터 제조방법(METHOD OF FABRICATING FERROELECTRIC CAPACITOR)
강유전체 커패시터 제조방법에 관한 것으로, 기판 위에 RuO2로 이루어진 식각 정지층, 하부전극, 강유전체층, 상부전극, Ru, Cr 중 어느 하나로 이루어진 마스크층을 순차적으로 형성하고, 마스크층을 소정 형상으로 패터닝한 다음, 상부전극, 강유전체층, 하부전극을 한 번에 식각하여 RuO2 식각 정지층을 노출시킨 후, 노출된 RuO2 식각 정지층 및 마스크층을 제거함으로써, 단차의 존재 유무와 상관 없이 용이하게 강유전체 커패시터를 제작할 수 있으며, 공정이 간단하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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