일반기술
분할 노광 장치(DIVISION STEPPER)
글래스를 다수의 노광영역으로 분할하여 노광공정을 수행함으로써 하드웨어적인 제약을 받지 않도록 하고 PDP를 제조할 때 55인치 이상의 패널에 대한 노광을 용이하게 수행할 수 있도록 하고, 글래스를 지지하는 글래스 스테이지에 정렬용 마크를 형성시킴으로써 퍼스트 레이어(first layer)의 노광공정시 용이하게 정렬이 이루어질 수 있도록 하는 분할 노광 장치( Division stepper )에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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