일반기술

이파장 광원 모듈 및 그 제조방법(OPTICAL SOURCE MODULE FOR GENERATING BEAMS DIFFERENT FROM THE WAVE LENGTH AND METHOD FOR FABRICATING OF THE SAME)

파장이 다른 광빔들을 발생하는 이파장 광원 모듈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 파장이 서로 다른 제 1, 제 2 레이저 다이오드, 측면에 미러면을 갖는 미러블록, 서브마운트를 각각 준비하고, 서브마운트 위에 제 1 마스크 물질을 형성한 다음, 제 1 마스크 물질의 소정영역을 패터닝하여 서브마운트를 노출시키고 노출된 서브마운트를 소정 깊이로 1차 에칭하여 제 1, 제 2 레이저 다이오드가 정렬될 사이트(site)를 형성한다. 그리고, 에칭된 서브마운트 위에 제 2 마스크 물질을 형성한 후, 제 2 마스크 물질의 소정영역을 패터닝하여 서브마운트를 노출시키고 노출된 서브마운트를 소정 깊이로 2차 에칭하여 미러블록이 정렬될 사이트 및 45도 미러를 형성한다. 이어, 45도 미러의 미러면에 반사막을 형성하고, 1차 에칭된 사이트 위에 제 1, 제 2 레이저 다이오드를 각각 정렬하고 2차 에칭된 사이트 위에 미러블록을 정렬함으로써, 조립 정밀도와 생산성을 높일 수 있으며, 제조공정이 간단하여 제조가 용이하고 재현성이 우수하다.