일반기술
반도체형가스센서(SEMICONDUCTOR TYPE GAS SENSOR)
반도체형 가스센서로, 알루미나(A12O3) 기판표면에 한개의 히터와 쌍으로된 한 개 이상의 전극을 형성하고 전극 상에 산화물 반도체 감지막을 형성하여 구성하는 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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