일반기술

초소형 솔리드 이머션 렌즈의 제조방법 및 이 렌즈를 이용하는 광정보 기록/재생 장치 (method for fabricating subminiature solid immersion lens and apparatus for record/playback of optical information using the lens)

양산성에 적합한 초소형 솔리드 이머션 렌즈 및 그의 제조 방법을 제공함을 목적으로 한 것으로, 기판의 양측에 제 1 및 제 2 식각 마스크용 박막을 형성하는 단계, 제 1 식각 마스크용 박막에 식각용 구멍을 패터닝하여 형성하고 이 식각용 구멍을 사용하는 등방식각으로 렌즈의 틀을 형성하는 단계, 제 1 식각 마스크용 박막을 제거한 후 렌즈의 틀을 포함한 기판 전면에 렌즈 형성용 유리를 증착하는 단계, 증착된 유리를 평탄화 하는 단계, 제 2 식각 마스크용 박막에 포토리소그래피 공정을 이용 식각용 창을 형성하는 단계, 평탄화된 유리를 렌즈부분만 남기고 제거하여 렌즈를 형성한 후 식각용 창을 이용한 기판의 식각으로 렌즈를 일체화하여 지지하기 위한 렌즈 프레임을 형성하는 단계를 포함하는 초소형 솔리드 이머션 렌즈의 제조방법과, 이와 같이 제조된 초소형 솔리드 이머션 렌즈를 결합한 광정보 기록/재생 장치가 제공된다.