일반기술
절대습도센서(absolute humidity sensor)
전자레인지용 절대습도센서에 관한 것으로, 세라믹 계통의 감습 재료보다 많은 양의 수분을 흡수할 수 있는 폴리이미드 박막을 감습 재료로, 실리콘 웨이퍼를 기판으로 이용하여 습도에 민감한 절대습도센서를 제작함과 동시에 실리콘 공정을 이용하여 센서를 집적화함으로써, 센서의 대량 생산을 용이하도록 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.