일반기술
써모파일 센서(thermopile sensor)
감도를 향상시킨 써모파일 센서를 제공하기 위한 것으로서, 중앙부에 비어홀(via hole)을 갖는 기판과, 기판 위에 형성되는 멤브레인과, 멤브레인 위의 소정영역에 형성되는 열전쌍들과, 열전쌍 상부에 열전쌍을 덮도록 형성되는 절연막과, 열전쌍들 상부에 형성되는 흑체와, 흑체를 포함한 절연막 상부를 덮도록 형성되는 무반사 코팅막으로 구성된다. 무반사 코팅막의 재료는 열전도 계수가 낮은 폴리머 계열의 재료로 코팅함으로써 입사된 적외선에너지의 손실을 줄여 센서의 감도를 향상시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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