일반기술
액정표시장치의제조방법
액정표시장치의 제조방법은 절연기판을 준비하는 단계; 절연기판상에 반도체층을 형성하는 단계; 반도체층상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 게이트 절연막상에 제1게이트 전극을 형성하는 단계; 제1게이트 전극을 마스크로하여 반도체층내에 제1 및 제2불순믈 영역을 형성하는 단계; 제1게이트 전극 및 게이트 절연막상에 각각 제2게이트 전극과 커패시터의 상부전극을 형성하는 단계; 기판전면에 제1 및 2불순물 영역들을 노출시키는 제1 및 2콘택홀을 갖는 층간 절연막을 형성하는 단계; 층간 절연막상에 제1 및 2콘택홀을 통해 제1 및 제2불순물 영역과 전기적으로 연결되도록 소오스/드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하여 구성된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.