일반기술
무촉매에 의한 카본 나노 튜브의 성장방법(Method for developing carbon nanotube without catalyst)
카본 나노 튜브 합성 방법 중 핫 필라멘트 기상 증착법(Hot-Filament Chemical Vapor Deposition : HFCVD)의 공정변수, 구체적으로 기판 바이어스, 가스 유량, 암모니아 첨가등을 조절하여 기판상에 촉매 없이 수직 성장된 카본 나노 튜브를 제공함으로써 불순물이 적고, 불순물 제거 및 정제 공정이 필요 없는 카본 나노 튜브 성장 방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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