일반기술
청색 발광 다이오드의 제조방법(MANUFACTURING METHOD OF BLUE LIGHT EMITTING DIODE)
N형 전극의 표면이 거칠게 되어 리드 와이어를 형성하기 위한 와이어 본딩이 잘 되지 않는 문제점을 해결하기 위하여 기판 전면에 N형 질화 갈륨층, P형 질화 갈륨층의 순서로 적층하고 N형 질화 갈륨층이 노출되도록 일부 영역을 식각하여 일정 온동서 1차 열처리 하고 P형 질화 갈륨층상의 일정영역에 P형 금속물질을 적층하여 P형 전극을 먼저 형성하고 일정 온도에서 2차 열처리한 다음 N형 질화 갈륨층상의 일정 영역에 N형 금속물질을 적층하여 N형 전극을 형성하고 고온의 열처리를 추가로 수행하지 않으므로 청색 발광 다이오드의 동작 특성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 N형 전극의 표면을 평탄하게 할 수 있도록 한 청색 발광 다이오드의 제조방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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