일반기술
마이크로 미러 및 그 제조방법(micro mirror and method for fabricating micromirror)
두 개의 기판을 정렬함으로써 미러와 하부전극과의 충분한 간격을 확보하여 미러의 집적도를 높일 수 있고, 제작 공정이 간단하여 공정 신뢰도가 향상된 스위치에 사용되는 정전 구동형 마이크로 미러 및 그 제조방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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