일반기술
박막증착장치(Thin Film Sputtering Device)
박막증착장치를 제공하기 위한 것으로서, 증착용 성형 소스의 증착특성에 따라 개구율을 달리한 마스크를 구비하여 길이 방향으로 긴 선형타입 또는 도가니 타입의 증착용 성형 소스의 불균일한 증착특성을 갖는 마스크의 개구율을 조절하여 마스크면 당 승화되는 박막재료의 양이 거의 균일하게 하여 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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