일반기술

고온초전도 전자소자 개발

1. 박막제조 분야 ·YBCO/BSTO/YBCO/LAO 구조의 고온초전도 다층 막을 제작함 ·산소분압에 따른 박막의 특성 변화 연구하여 적정 조건을 찾음 ·레이저 증착법을 사용하여 우수한 특성의 박막 제조 조건을 확립함 2. 조셉슨 접합 제작 및 미세선 가공 ·ECR ion beam etching 방법으로 선폭 1㎛의 미세선폭 제조기술 확립 ·ECR 방법으로 step을 제작하고 step edge junction 제작 ·Bicrystal 기판을 사용하여 Josephson junction 제작 3. IR 광센서 제작 ·Grain Boundary에서의 광반응 특성 조사 및 기구 규명 (비열적 광반응 관찰) ·Kinetic inductance를 이용하여 bolometer를 제작함 (감도 10,000Hz/K) 4. 고온초전도 마이크로파 소자 제작 ·고온초전도 박막을 이용한 공진기 제작- Q-factor, 공진주파수 특성, 표면저항 측정 ·고온초전도 필터 제작- Bandpass region,삽입손실 등을 측정함 5. 박막 측정용 ac susceptometer 제작 ·비법촉식으로 박막의 Tc, Jc, M, λ(T) 등을 측정할 수 있는 susceptometer를 제작함 6. 물성연구 ·박막의 1/f 잡음 특성을 연구하고 잡음의 거동을 조사함 ·단결정에 이온을 투과시켜 flux flow의 거동을 규명함