일반기술
박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 물질 센서 모듈(FIELD EMISSION DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF)
센서의 감지도를 개선하고 동시에 다수의 물질들을 검출할 수 있도록 하며 센서 패키지의 교환이 가능하도록 함과 아울러, 단일 기판 상에 센서부와 신호처리 회로를 집적하도록 하여 센서 모듈의 크기를 줄이는 효과가 있는 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 물질 센서 모듈에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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