일반기술
마이크로파 소자 제조방법(MANUFACTURING METHOD FOR MICRO-WAVE DEVICE)
보다 두꺼운 마이크로 스트립선로를 포토레지스트 패터닝 및 포토레지스트를 도금 마스크로 사용하는 전기도금법으로 형성함으로써, 보다 두께가 두꺼운 마이크로 스트립선로를 획득하여 그 측면 커플링 양을 증대시켜, 보다 우수한 특성의 마이크로파 소자를 제조할 수 있는 효과와 아울러 저가의 공정을 사용함으로써 제조비용을 절감하는 마이크로파 소자 제조방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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