일반기술
질화갈륨 기판 제조 장치 및 방법(Apparatus and method for manufacturing GaN substrate)
NH4Cl의 생성을 감소시킬 수 있고, 더불어 특성이 우수한 질화갈륨 기판을 제조할 수 있는 질화갈륨 기판 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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