일반기술
노광장치의 이송식 기판 스테이지(A feeding panel stage of the facing exposure apparatus)
노광 작업의 대상물인 테이프기판을 이송하고, 다양한 크기의 대상물을 노광 작업 전에 정확한 위치에 배치시키도록 하는 노광장치의 이송식 기판 스테이지에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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