일반기술
박막 필름 벌크 오코스틱 공진기 및 필터 제조 방법(MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM BULK ACOUSTICRESONATOR AND FILTER)
박막 필름 벌크 오코스틱 공진기(Film Bulk Acoustic Resonator, 이하 FBAR이라 칭함) 및 필터에 관한 것으로, 특히 차세대 이동통신 단말기에 적용되는 FBAR 및 필터 제조시 AlN 박막을 과다 식각 및 하부 전극 손실 없이 식각하는데 적당하도록 한 박막 FBAR 및 필터 제조 방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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