일반기술
반도체식 후막 가스 센서 소자, 및 가스 센서 소자의 성능측정 장치
기술개요및특징본 기술에 의한 반도체식 후막 가스 센서 소자는 기판 전면에 전극 및 감지막으로 이루어지는 센서가 2개 이상 형성되어 센서 어레이를 이루고, 기판 후면에 히터가 형성되어 있으며, 감지막을 구성하는 감지 물질은 산화주석을 포함한다.또한, 본 기술에 의한 가스 센서 소자의 성능 측정 장치는 4방향 밸브 및 미니 반응조를 포함한다.상기 반도체식 후막 가스 센서 소자는 각종 가스, 특히 화학 테러에 사용되는 화학 작용제에 대해서 뛰어난 선택성을 가진다. 또한, 가스 센서 소자의 성능 측정 장치는 가스 센서 소자와 측정 가스의 반응 시간을 최소로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 생명과학 > 기타 생명과학
- 보유기관
- 경북대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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