일반기술

수직 공진 표면광 레이저를 이용한 간섭계

기술개요및특징본 기술은 기존의 He-Ne 레이저를 이용하는 간섭계 대신에 단일 모드 수직 공진 표면광 레이저를 이용한 간섭계를 제공하고 있다. 수직 공진 표면광 레이저는 표면에 수직으로 빛이 방출 되므로 미세 광학계 또는 회절 광학계와 결합이 용이하고 표면 실장이 용이하여 단순하면서도 소형화된 간섭계 구성을 제공한다.본 기술은 하나의 예로써, 단일모드이며 웨이퍼로부터 수직방향인 평행빔을 발광하는 수직 공진 표면광 레이저(VCSEL) 평행빔을 일부 반사 및 일부 투과하는 빔 분할기 평행빔의 경로와 수직인 위치에 고정 배열되며, 빔 분할기에서 반사된 빔을 반사하는 제1 반사경 평행빔의 경로 상에 이동가능하도록 배열되며, 빔 분할기를 투과한 빔을 반사하는 제2 반사경 및 평행빔의 경로와 수직인 위치에 배열되며, 제1 반사경에서 반사되고 빔 분할 기에서 다시 투과된 빔 및 제2 반사경에서 반사되고 빔 분할기에서 다시 반사된 빔을 검출하여, 두 빔의 광 경로차에 따른 간섭무늬에 의해 제2 반사경의 위치를 검출하는 광 검출기를 포함하는 수직 공진 표면광 레이저를 이용한 간섭계를 제공한다.