일반기술

고집적 비휘발성 메모리용 상변화 재료

- 개요 및 특징 본 기술은 비휘발성 상변화 전기메모리용 메모리 재료에 관한 것으로서, 평형 상태도에서 최소용융온도를 갖는 합치용융 (CONGRUENT MELTING) 조성 또는 공정용융 (EUTECTIC MELTING) 조성 및 그 부근의 조성을 갖는 치환형 고용체 형태로서 용융온도가 600℃ 이하인 기저재료에, 붕소(B), 탄소(C), 질소(N) 및 산소(O) 중에서 선택되는 1개 이상의 비금속 원소가 첨가되어있는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 비휘발성 상변화 메모리 재료는 용융온도가 600℃ 이하로 낮으면서도 결정화 온도가 높고 전기전도도 및 열전도도가 작아 리셋기록을 위한 전력소모의 감소 및 셀간 열간섭의 감소와 함께 데이터 유지력을 높일 수 있어 고집적 비휘발성 상변화메모리용 메모리 셀에 효과적으로 사용할 수 있다. - 사업화 적용 실적 본 기술에 따른 상변화재료는 저용융온도, 고비저항, 저열전도도 특성으로 리셋기록 전류가 작고, 고결정화 온도 특성으로 리셋기록시 열간섭이 작고 데이터 유지력이 높다.