일반기술

계면 제어층을 포함하는 비휘발성 전기적 상변화 메모리 소자 및 이의 제조방법

- 개요 및 특징 본 기술은 신뢰성이 향상된 비휘발성 전기적 상변화 메모리 소자 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 상변화 물질층과 하부 전극층 사이의 접촉 구멍에 상변화 물질과의 화학적 결합력이 높고 하부 전극 물질에 비해 전기적 비저항 및 열전도도가 낮은 계면 제어층이 형성된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 본 기술의 비휘발성 전기적 상변화 메모리 소자는, 계면에서 상변화 물질과 전극 물질 사이의 접촉저항이 작고 상기 계면의 발열 및 열 구속 효과로 인해 상변화 물질층 내 온도 및 상분포가 균일하여, 셋/리셋 상태간의 신호비가 크고 동작전압 (또는 전류) 및 셋/리셋 저항의 요동의 크기와 산포가 작아 안정적인 소자 동작과 함께 사용 수명이 향상된 메모리 특성을 갖는다.- 사업화 적용 실적 열적 상변화를 이용하는 모든 종류의 상변화 메모리 소자에 적용 가능하며, 고신뢰도 확보를 통한 고집적화가 가능하다.