일반기술

질소 처리와 금속 촉매를 이용한 금속 산화물 나노와이어및 그 제조방법

<기술의 개요>본 기술은 금속 촉매의 이용과 질소 열처리법을 통해 나노 와이어를 제조하여 가스 감응 특성을 높일 수 있는 금속 산화물 나노와이어 및 그 제조방법에 관한 것이다.이를 위해 본 기술은, 기판상에 금속을 증착시키는 단계와, 기판상에 금속 증착 후, 금속 촉매를 금속층 위에 증착시키는 단계와, 금속 촉매 증착 후에 질소 분위기의 열처리를 하여 나노와이어를 성장시키는 단계와, 질소 분위기의 열처리 후 산소 분위기의 열처리를 하는 단계를 포함하는 나노와이어 및 그 제조방법을 제공한다.<기술의 특징>본 기술에 따른 금속 산화물 나노와이어 및 그 제조방법은 고진공의 분위기가 요구되는 기존의 화학 기상 증착법이나 레이저 증착법과는 달리, 열증착법과 간단한 N2 열처리 방법으로 금속 산화물 나노 와이어를 제조하여 제작 공정이 보다 간단하여 제조 단가를 낮출 수 있다.또한, 금속을 촉매로 사용하기 때문에 나노 사이즈 직경의 와이어를 고르게 얻을 수 있으며, 나노와이어 센서를 연속해서 제작할 수 있다.이를 통해, 기존의 센서에 비해 높은 감도 특성을 가질수 있으며 그 반응 속도도 빨라 향상된 수준의 나노와이어 센서를 제공할 수 있다.