일반기술

강유전체 결정 기판의 열처리 방법

<기술개요및특징>강유전체 결정 기판의 열처리 방법은 육방정의 결정구조를 가지는 강유전체 결정 기판을 900℃ 이상의 온도에서 가열하여, 강유전체 결정을 구성하는 각 이온간의 상대적 위치에 대응하여 각 결정축(x, y, z축)마다 원자스텝 높이를 제어하는 것을 특징으로 한다. 결정축의 z축 방향에서는 격자상수의 1/n(n:정수)에 대응하여 z축 방향의 원자스텝 높이를 제어하고, 결정축 연마 후의 LiNbO3 단결정 기판을 본 기술을 적용한 열처리 방법에 의해 열처리한다. 본 기술의 열처리 방법의 구체적인 실시예는 기계적, 화학적 연마 후, 표면을 세정해서 제조한 LiNbO3 단결정 기판을 온도를 제어하는 고온로 내의 공기 분위기 중에 놓는다. 그런 다음 LiNbO3 단결정 기판을 약 1000℃에서 일정시간 어닐링하는 것이다. 본 열처리 방법은 LiNbO3 단결정 기판의 표면 거칠기를 원자크기범위까지 개선하는 것이 가능하게 되어 디바이스의 고기능화, 고밀도화에 대응할수 있으며 불규칙한 요철 분포를 제거함에 의해 결함의 원인이 되는 3차원핵의 결정성장을 저지할수 있다. 더욱이 에피택시 성장 전의 LiNbO3 기판의 표면 상태를 매우 정미라게 제어할 수 있어 디바이스의 설계에 제약을 가하지 않고 시장에서 요구하는 다양한 요구들에 대응할 수 있다.