일반기술
산화 아연 계 투명 전도성 산화물 박막의 제조 방법
"본 기술은, 기존 기술로 제조할 수 없었던, 산소 분위기 공정 안정성 및 에칭 특성이 우수한 투명전도성 산화물 박막에 관한 기술이다. 이 기술은 에칭, 후속 열처리 등에도 안정하게 투명 전도 특성을 유지하는 평판 디스플레이 용 투명전도성 전극으로 사용될 수 있다.Al. Ga 도핑된 ZnO 산화물 박막 투명전도성 산화물 박막은 산소 분위기 공정 안정성 및 에칭 특성이 향상된 세계 최초 발명임. 전기, 광학적 특성, 경시 특성이 개선되었고, 경제성과 양산성이 뛰어난 공정으로 사용 가능하다."
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 세라믹재료
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-08
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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