일반기술
규칙적인 미세패턴을 갖는 화상디바이스의 패턴 검사장치 및 검사방법
본 기술은 규칙적 미세 패턴으로 이루어진 화상디바이스의 매크로검사와 마이크로검사를 연속하여 행하도록 한 화상디바이스의 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.- 특징규칙적 미세 패턴으로 이루어진 화상디바이스의 매크로검사와 마이크로검사를 연속하여 행할 수 있어 매크로검사의 고생산성과 마이크로검사의 신뢰성을 얻을 수 있으므로, 대상물의 전수검사가 가능하게된다.외부 조건에 따른 검사 결과의 변수를 최대로 낮출 수 있는 화상디바이스의 검사장치 및 검사방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-08
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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